纳米线 / 碳纳米管及电子器件测试

纳米线 / 碳纳米管及电子器件测试概述：

纳米线（Nano Wire）为一种横向上被限制在 100 纳米以下（纵向没有限制）的一维材料。根据组成材料的不同，纳米线可分金属纳米线，半导体纳米线和绝缘体纳米线。

作为纳米材料的一种，纳米线具备上节中概述的纳米材料全部特性，在电子，光电子和纳电子机械器械中， 纳米线起到很重要的作用。它同时还可以作为合成物中的添加物、量子器械中的连线、场发射器和生物分子纳米感应器等。

碳纳米管又名巴基管，碳的同素异形体，是一种具典型的纳米线。碳纳米管的分类如下图所示。

碳纳米管的应用十分广泛，下图示意出碳纳米管的典型应用。

碳纳米管的性质可以从电学，力学，热学，储氢及其它性质五个方面表征，其电学性质如下图：

纳米线 / 碳纳米管及其电子器件测试

碳纳米管特殊的电学性能，使其被广泛用于制作碳纳米管电子器件。碳纳米管电子器件主要包括碳纳米管场发射器，碳纳米管 FET，单电子晶体管，碳纳米管传感器，碳纳米管存储器，碳纳米管开关，碳纳米管集成电路及碳纳米管计算机。

纳米线 / 碳纳米管电学性能测试面临的挑战已经在上节中讨论过，在此不再赘述。

I-V 测试是纳米线 / 碳纳米管最基本的电性能测试， SMU 是基本测试仪器，不同种类的碳纳米管需不同的SMU 进行测试，SMU 选择依据为：

被测样品所需 SMU 通道数

被测样品是否有脉冲测试需求

被测样品是否有电容测试需求

被测样品电阻范围，施加或测试的电流范围以及施加或测试的电压范围

SMU 选型指南详见上节中最后一张图。

纳米线 / 碳纳米管及其电子器件综合测试方案硬件

4200A-SCS 主机

4200 SMU 模块，模块数量由通道数决定

4200 PA， 选件， 依据最小测试电流定， 数量与SMU 模块匹配

4225 PMU，选件，依据脉冲需求定，模块数由通道数定，是否加放大器由最小测试电流定

4210 CVU，选件，有电容特性测试需求时配置

纳米探针台（第三方）

软件

Clarius

方案优势：

测试范围宽，满足全部种类纳米线 / 碳纳米管及其电子器件测试需求

多种配置满足不同的应用需求

内置多种纳米线 / 碳纳米管器件库，调用后自动生成相应器件的测试流程