S530 参数化测试系统 适用于必须操作各种设备和技术的生产和实验室环境，提供业界领先的测试计划灵活性、自动化、探头测试台集成以及测试数据管理功能。Keithley 拥有超过 30 年的专业经验，针对这些测试解决方案的设计向全世界的客户提供各种标准和自定义参数化测试仪。

S535 多站点晶片验收测试系统 是一种大功率、高分辨率晶片级解决方案，用于跨制作工作流测试应用中的模拟、电动、混合信号和离散设备。与在一个站点上同时测试多台设备的传统异步并行测试方案不同，S535 的多站点并行测试方法在多个站点上同时测量多台设备。这将探测器索引时间至少缩短 2 倍，从而提高制作生产率并降低测试成本。

540 参数测试系统 是一个全自动化的 48 引脚参数测试系统，适用于高达 3kV 的功率半导体器件和结构的晶片级测试。完全集成式 S540 已针对包括碳化硅 (SiC) 和氮化镓 (GaN) 在内的最新复合功率半导体材料进行优化，可以在单次测试触摸中执行所有高电压、低电压和电容测试。

S500 集成式测试系统 是高度可配置的、基于仪器的系统，适用于器件、晶片或暗盒级半导体检定。S500 集成式测试系统基于我们经过验证的仪器，提供创新的测量功能和系统灵活性，并且根据您的需求可进行扩展。独有的测量能力结合强大而灵活的自动化检定套件 (ACS) 软件，提供市场上其他同类系统无法提供的广泛应用和功能。  

S530 功能

• 能轻松适应新设备和测试要求

• 快速、灵活、交互式测试计划制定

• 兼容于常见的全自动探头测试台

• 提供 1kV、C-V、脉冲生成、频率测量和低压测量选项

• 兼容于 Keithley 的 9139A 型探头卡适配器

• 支持重复使用现有的五英寸探头卡库

• 经验证的仪器技术确保在实验室和工厂中实现高测量精度和可重复性

S535 特点

• 在多站点并行或连续运行中自动执行所有晶片级直流参数测试。触摸一次探头测试两个或四个站点。

• 多达 64 根测试针：并行测试四个站点，每个站点 16 根针；并行测试两个站点，每个站点 32 根针；连续测试一个站点，64 根针

• 高达 100 W 运行：1 A 时 100 V；100 mA 时 200 V

• 在高速、多针、完全自动的测试环境中 1 fA、10 nV 分辨率

• 基于 Linux 的 Keithley 测试环境 (KTE) 系统软件兼容原有 Keithley 测试系统、支持轻松进行测试开发和快速执行。

• Keithley S530 型探头卡基础设施也支持原有的 S400 应用

S540 功能

• 在单次探头触摸中自动在多达 48 个引脚上执行所有晶片级参数测试，包括高电压击穿、电容和低电压测量，而无需更改电缆或探头卡基础设施

• 在最高达 3kV 的条件下执行晶体管电容测量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而无需手动配置测试引脚

• 在高速、多引脚、全自动测试环境中实现低电平测量性能

• 基于 Linux 的 Keithley 测试环境 (KTE) 系统软件支持轻松进行测试开发和快速执行

• 非常适合于过程集成、过程控制监控和生产芯片分类中的全自动或半自动应用

• 通过最大程度减少测试时间、测试设置时间和占地面积，降低拥有成本，同时实现实验室级测量性能

S500 功能

• 全量程源测量单元 (SMU) 仪器技术规格，包括 subfemtoamp 测量，确保在几乎任何设备上都能执行广泛的测量。

• 适用于内存检定、电荷泵、单脉冲 PIV（电荷陷阱分析）和 PIV 扫描（自加热回避）的脉冲生成和超快 I-V。

• 利用支持 Keithley 系统的可扩展 SMU 仪器，提供低或高通道数系统，包括并行测试。

• 适用于测试功率 MOSFET 和显示驱动器等测试器件的高电压、电流和功率源测量仪器。

• 开关、探头卡和布线保证系统完全适用于您的 DUT。